(高清版)B-T 42709.7-2023 半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器

ICS31.200

CCSL40

中华人民共和国国家标准

GB/T42709.7—2023/IEC62047-7:2011

半导体器件微电子机械器件

第7部分：用于射频控制和选择的

MEMS体声波滤波器和双工器

Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—-

Part7:MEMSBAWfilterandduplexerforradiofrequencycontrolandselection

(IEC62047-7:2011,IDT)

2023-05-23发布2023-12-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T42709.7—2023/IEC62047-7:2011

目次

前言I

引言Ⅱ

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

3.1基本术语1

3.2体声波滤波器术语2

3.3体声波双工器术语3

3.4特性参数术语4

4基本额定值和特性10

4.1谐振器、滤波器和双工器标志10

4.2其他信息10

5测试方法10

5.1测试步骤10

5.2射频特性12

5.3可靠性试验方法15

附录A(资料性)体声波谐振器的几何结构17

附录B(资料性)体声波谐振器的工作原理18

参考文献20

GB/T42709.7—2023/IEC62047-7:2011

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件是GB/T42709《半导体器件微电子机械器件》的第7部分。GB/T42709已经发布了以

下部分：

——第5部分：射频MEMS开关；

第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器：

——第19部分：电子罗盘。

本文件等同采用IEC62047-7:2011《半导体器件微电子机械器件第7部分：用于射频控制和选

择的MEMS体声波滤波器和双工器》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动：

——根据IEC62047-7:2011对于公式(3)的文本描述，将公式(3)的分母由并联谐振频率修改为串

联谐振频率。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中华人民共和国工业和信息化部提出并归口。

本文件起草单位：中国电子技术标准化研究院、中国电子信息产业集团有限公司、河北美泰电子科

技有限公司、北京大学、北京必创科技股份有限公司、天津大学。

本文件主要起草人：刘若冰、李博、崔波、梁彦青、张威、陈得民、杨清瑞。

I

GB/T42709.7—2023/IEC62047-7:2011

引言

本文件适用于MEMS体声波谐振器、滤波器和双工器，明确了MEMS体声波谐振器、滤波器和双

工器的术语、定义、符号、结构和测试方法等，有利于更好地指导相关行业从业人员进行产品开发、测试、

使用等工作。GB/T42709《半导体器件微电子机械器件》拟由以下部分组成。

——第2部分：薄膜材料的拉伸试验方

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