静电驱动微机电系统动力学分析的若干方法 大学课件—教案 • 9个月前 (06-30) 静电驱动微机电系统动力学分析的若干方法;;;;;本文旨在针对静电驱动MEMS器件的动力学行为，发展一种基于高精度数值模拟和仿真技术的分析方法... 阅读 10 次 静电机电动力学方法系统
